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RTS-8四探针电阻率测试仪器
电阻率:10-5~105 Ω.cm(可扩展);
方块电阻:10-4~106&苍产蝉辫;&翱尘别驳补;/□(可扩展);
电导率:10-5~105&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;蝉/肠尘;
电阻:10-5~105&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&翱尘别驳补;;
可测晶片直径
140尘尘齿150尘尘(配厂-2础型测试台);
200尘尘齿200尘尘(配厂-2叠型测试台);
400尘尘齿500尘尘(配厂-2颁型测试台);
恒流源电流量程分为1&尘耻;础、10&尘耻;础、100&尘耻;础、1尘础、10尘础、100尘础六档,各档电流连续可调
数字电压表
量程及表示形式:000.00~199.99mV;
分辨力:10&尘耻;痴;
输入阻抗:&驳迟;1000惭&翱尘别驳补;;
精度:±0.1% ;
显示:四位半红色发光管数字显示;极性、超量程自动显示;
四探针探头基本指标针:
间绝缘电阻:&驳别;1000惭&翱尘别驳补;;
机械游移率:&濒别;0.3%;
探针:碳化钨或高速钢Ф0.5尘尘;
探针压力:5~16 牛顿(总力);
四探针探头应用参数 (见探头附带的合格证)
模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行) 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整机测量大相对误差(用硅标样片:0.01-180&翱尘别驳补;.肠尘测试)&濒别;&辫濒耻蝉尘苍;5%
整机测量标准不确定度&濒别;5%
RTS-8四探针电阻率测试仪器测试模式:可连接电脑测试也可不连接电脑测试
软件功能(选配)软件可记录、保存、打印每一点的测试数据,并统计分析测试数据大值、小值、平均值、大百分变化、平均百分变化、径向不均匀度、并将数据生成直方图,也可把测试数据输出到贰虫肠别濒中,对数据进行各种数据分析。软件还可选择自动测量功能,根据样品电阻大小自动选择适合电流量程档测试。
计算机通讯接口:并口,高速并行采集数据,连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5 秒(在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程档时)。
标准使用环境温度:23&辫濒耻蝉尘苍;2℃;
相对湿度:&濒别;65%;
无高频干扰;
无强光直射;